Aufrufe
vor 2 Jahren

DER KONSTRUKTEUR 12/2016

DER KONSTRUKTEUR 12/2016

MECHATRONIK MIT

MECHATRONIK MIT SAMTHANDSCHUHEN ZUPACKEN Es ist nicht nur die Sanftheit, die die hier vorgestellten mechatronischen Greifer gegenüber pneumatischen vorweisen. Ihr Einsatz reduziert zudem die Gesamtkosten: Sie sind viel einfacher zu bedienen, wartungsfrei und reinraumtauglich. Alles Vorteile, warum sie bei den Entwicklern der Wafermarkier- und -sortiersysteme von InnoLas Begeisterung hervorrufen. Ich habe keinen anderen Hersteller gefunden, der das so komprimiert baut“, sagt Sven Wollstadt, Entwicklungsleiter der InnoLas Semiconductor GmbH, Krailling. Er hat sich bei der Entwicklung einer neuen Wafersortiermaschine für die elektrisch angetriebenen Komponenten von Gimatic entschieden. Damit hat er erstmals keine pneumatische Lösung eingesetzt und das soll bei künftigen Neuentwicklungen auch so bleiben. Die in Deutschland ansässige Holding Inno- Las wurde 1995 gegründet. Mit ihren vier Schwesterfirmen bedient sie Kunden in aller Welt mit innovativer Lasertechnologie für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. InnoLas Semiconductor hat sich auf hochqualitative Wafermarkier- und Wafersortierlösungen für die Halbleiterindustrie spezialisiert. SPECIAL SANFTE ENTNAHME AUS DER BOX In einem modularen Wafer-Bearbeitungssystem befinden sich zwischen den einzelnen Stationen Transportsysteme, die die Wafer von einer zur anderen Station transportieren. Da hier Reinraumbedingungen herrschen, muss dieses Handling vollauto matisiert erfolgen. Das Wafertransfersystem vom Typ IL C3800 hat die Aufgabe, eine reinraumtaugliche Kunststoffbox FOUP (Front open unit pott) automatisiert zu öffnen, die enthaltenen Wafer zu entnehmen, umzudrehen, auszurichten und der nachfolgenden Bearbeitungseinheit zu übergeben. Ein Dreiachsroboter holt die Wafer aus 48 DER KONSTRUKTEUR 12/2016

01 BUCHTIPP 01 Greifer mit Karbonbacken, die eine Federfunktion übernehmen und damit zusätzlich die Greifkraft reduzieren der Ladestation und legt sie sehr schnell und präzise auf den sogenannten Flipper (Wendestation). Zwei Gimatic-Greifer nehmen den Wafer entgegen. Die Schwenkeinheit wendet den mit der falschen Seite ankommenden Wafer absolut synchron mithilfe eines Präzisionszahnriemen-Antriebs. Schließlich legen die Greifer den Wafer auf den sogenannten Aligner, wo er für den Weitertransport ausgerichtet wird. Hier liest eine bildgebende Kamera den Barcode des Wafers. Die Transfermaschine übergibt die im Barcode enthaltene Information sowie die exakte Lage des Wafers der folgenden Bearbeitungsstation via Ethernet, welche daraufhin vollautomatisch den korrekten Prozess am richtigen Ort ausführt. 200 WAFER PRO STUNDE So werden etwa 200 Wafer pro Stunde dem Prozess vollautomatisiert zufügt und das gemäß Reinraumklasse 1. In der Wendestation kommen zwei Gimatic-Greifer MPPM 1606 und eine Schwenkeinheit vom Typ MRE 25180 erstmals zum Einsatz. „Wir wollten KOMPAKTE BAUWEISE UND EINFACHE AN- STEUERUNG ERLAUBEN DIE LEICHTE INTE - GRATION DER GREIFER IN ANLAGENKONZEPTE weg von der Pneumatik, weil sie in unseren Vorgängermaschinen zu viel Abrieb erzeugte, zu groß baute, zu aufwendig in der Umsetzung war und die Wafer nicht sanft genug handhaben konnte“, beschreibt der Entwicklungsleiter die Gründe für die Umstellung von Pneumatik auf Mechatronik. „So habe ich damals im Internet recherchiert, wer solche mechatronischen Komponenten herstellt“, erinnert er sich. Gimatic hatte gleich beide für InnoLas wichtigen Merkmale in seinen Produkten umgesetzt – sowohl die Rotation als auch eine sehr kompakte Bauweise. „Das sind einfach unsere USP: kleine Bauweise, einfache Ansteuerung und Greifkraftsicherung auch im unbestromten Zustand“, ergänzt Harry Kern, Technischer Berater der Gimatic Vertrieb GmbH. Dieses Buch erleichtert durch eine möglichst anschauliche und anwendungsorientierte Darstellung der Zusammenhänge dem Leser den Zugang zu dem interessanten Fachgebiet der elektrohydraulischen Antriebe und Steuerungen, ohne allerdings auf die notwendigen physikalischen und mathematischen Grundlagen zu verzichten. Grundlagen elektrohydraulischer Antriebe und Steuerungen von Prof. Dr.-Ing. Siegfried Helduser 380 Seiten, zahlreiche Abbildungen, broschiert, ISBN 978-3-7830-0387-1 € 32,- (zzgl. Versandkosten) Online-Shop unter www.engineering-news.net Bitte bestellen Sie bei: Vereinigte Fachverlage GmbH Vertrieb . Postfach 10 04 65 . 55135 Mainz Telefon: 06131/992-0 Telefax: 06131/992-100 E-Mail: vertrieb@vfmz.de DER KONSTRUKTEUR 12/2016 49 OUP_Buch_elektrohydraulische_Antriebe_60x265_2016_02.indd 16.02.2016 1 14:35:48

AUSGABE