Der Konstrukteur 01/2025

AUTOMATISIERUNGSTECHNIK0101 Kompakte und hochpräzise Positionierlösungzur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreierStickstoff-Atmosphäre02 Auf einer Höhe von gerade einmal 15 mm sind dreiflächige Filter untergebracht, die im Strahlengang deroptischen Anlage verschoben werden und unabhängigvoneinander positionierfähig sind03 Die eingesetzte Werkstoffpaarung ermöglicht eineoptimale Gleitfähigkeit, Wärmeabfuhr und mechanischeStabilität im ultra-trockenen StickstoffPRODUKTE UND ANWENDUNGEN0203Markt in dieser Präzision. „Gleitgewindetriebe sind perfekt fürden DUV-Polarisationsfilter geeignet. Die Größe spielt dabei einewichtige Rolle, denn so kleine trockenlaufende Kugelgewindetriebesind im Moment technisch einfach nicht realisierbar“, erläutertDetlef Rode. Darüber hinaus bietet der Gleitgewindetriebweitere Vorteile. Er ist einfach aufgebaut, äußerst robust undzeichnet sich durch eine hohe Steifigkeit, exakte Form- und Maßhaltigkeitsowie einen geringen Verschleiß aus. Weiteres Plus:Gleitgewindetriebe haben eine Selbsthemmung, das heißt diePosition der Mutter auf der Spindel wird durch Haftreibunggehalten. Eine separate, hemmende Komponente wird nichtbenötigt. Das ist für erhöhte Stabilitätsanforderungen über einenlangen Zeitraum ideal. Da die drei Filter der Baugruppe eherselten und wenn, dann nur langsam bewegt werden, passte dasperfekt. Feinmess Suhl nutzt für die Herstellung der zweigängigentrockenlaufenden Gleitgewindetriebe das Gewinderollenbeziehungsweise Gewindewalzen. Bei diesem spanlosen Verfahrenwird die Gewindeform durch Kaltumformung erzeugt. DasErgebnis ist eine hohe Oberflächengüte bei einem äußerst wirtschaftlichenPreis-Leistungs-Verhältnis.Klein, kompakt, präzise, trockenschmierend, zuverlässig, langlebig,wartungsarm: Damit erfüllt der Polarisationsfilter die anspruchsvollenAnforderungen in der DUV-Lithographie zu100 Prozent. Der Gleitgewindetrieb stellte sich bei der Entwicklungund Konstruktion als Dreh- und Angelpunkt heraus. AlsHerzstück der Baugruppe macht er die geringen Abmessungenüberhaupt erst möglich. „Wir haben den Gleitgewindetrieb fürein spezielles Kundenprojekt entwickelt, aber natürlich profierenauch andere High-End-Anwendungen in der Halbleitertechnikvon den einzigartigen Eigenschaften der Spindel. Eine große Optionsvielfaltermöglicht individuelle Anpassungen“, betont Rode.DER GLEITGEWINDETRIEBGEHÖRT ZU DEN KLEINSTEN AMMARKT IN DIESER PRÄZISIONJAHRZEHNTELANGE ERFAHRUNGIN DER HALBLEITERINDUSTRIEOb Handling, Inspektion oder Montage, ob HV-, UHV- oder EUV-Positionierung: Dank seiner breiten Technologiekompetenz,seiner umfassenden Engineering-Expertise, seinem tiefen Anwendungsverständnisund seinem großen Erfahrungsschatz istSteinmeyer Mechatronik ein gefragter Partner bei der Konstruktion,Entwicklung und Herstellung anspruchsvoller Positionierlösungenfür die Wafer- und Chip-Herstellung. Die erprobtenSysteme werden individuell auf die applikationsspezifischen Anforderungenangepasst – vom Testlabor bis zur automatisiertenHalbleiterfabrik bis zu ISO 14644-1 bis Klasse 1. Alle Fertigungsteilewerden vakuumgerecht konstruiert, gesondert gereinigt undin einem zertifizierten Reinraum der ISO-Klasse 6 montiert.„Wir haben jahrzehntelange Erfahrung in der Konstruktion undHerstellung von Positioniersystemen für Halbleiteranwendungenund verfügen über spezielles Know-how der Tribologie undSchmierung in trockenen, sauerstofffreien Atmosphären wie Vakuumund Reinstickstoff. Dadurch sind wir in der Lage, auch fürherausfordernde Aufgabenstellungen zuverlässige, wirtschaftlicheLösungen zu realisieren“, betont Elger Matthes und ergänzt:„Die drei Kompetenzzentren Antriebstechnik, Positioniertechnikund Präzisionsmesstechnik der Steinmeyer-Gruppe bündeln einunglaublich breites Leistungsspektrum. So können wir Synergienoptimal nutzen und spezifische Kundenanforderungen schnellund unkompliziert realisieren“. Die gemeinsame Entwicklungdes DUV-Polarisationsfilters ist das beste Beispiel.Bilder: Aufmacher IM Imagery – stock.adobe.com, sonstige Steinmeyerwww.steinmeyer.com18 DER KONSTRUKTEUR 2025/01 www.derkonstrukteur.de

AUTOMATISIERUNGSTECHNIKDREH-IMPULSE FÜR EINEAUTOMATISIERTE FERTIGUNGSteigende Kosten, Unterbrechungender Lieferketten, neueAnforderungen an die Arbeitskräfte,die Verdichtung derArbeitsfolgen und auchNachhaltigkeitsziele: In denvergangenen Jahren gab esverschiedene Auslöser für ein Gefühl der Dringlichkeit vonInnovationen in der Fertigung. Hersteller stehen vor derHerausforderung, die Produktentwicklung effizienter undschneller zu gestalten sowie die Fertigung flexibel undgleichzeitig präzise aufzustellen. „Anlagen zur Maximierungvon Leistung und Effizienz stellen den Schlüssel zur bleibendenProfitabilität und Wettbewerbsfähigkeit dar. Eine reibungsloseFertigung bedeutet deshalb auch, auf Automationslösungenim Positionieren, Takten und Drehen zu setzen.Dafür benötigen Hersteller Produkte, die hohen Ansprüchenbei Taktzeiten und Präzision gerecht werden“, sagt ChristianHeyer, Geschäftsführer von Expert-Tünkers. Drehantriebestellen einen wichtigen Transportbaustein im Fertigungsprozessdar: Etwa für das schnelle Bewegen und präzisePositionieren von Produkten, Rohstoffen und Werkstücken,die Einhaltung hoher Rotationsgeschwindigkeiten und dasDrehen schwerer Lasten. Es geht dabei vor allem um einschrittweises Drehen und Positionieren, zum Beispiel, umWerkstücke in die Produktionszelle durch eine 180-Grad-Bewegung einzuschleusen.www.expert-tuenkers.deIO-LINK-SAFETY-INSTALLATIONSSYSTEMSchmersal präsentiert ein IO-Link Safety Installationssystem, indas verschiedene Sicherheitszuhaltungen und -sensoren sowiesichere Aktorik integriert sind. Auch ein IO-Link-Safety-Masterund ein -Hub von Schmersal wird künftig Bestandteil desSystems sein. Damit können die Vorteile des standardisiertenKommunikationssystems IO-Link auch für die funktionaleSicherheit genutzt werden. Der Anwender profitiert vongleicher Konnektivität, einfacher Parametrierbarkeit und derVerfügbarkeit von erweiterten Diagnosedaten. Das Systemermöglicht einesichere bidirektionaleKommunikation undeine erweiterteDiagnose vonSensoren undAktuatoren. DieDaten werdenüber dreiadrigeVerbindungsleitungen mit M12-Steckern statt wie üblichüber achtadrige Leitungen übertragen, was den Verdrahtungsaufwandund somit die Montagezeit erheblich reduziert undVerdrahtungsfehler ausschließt. IO-Link-fähige Safety Devicesliefern neben den reinen Sicherheitsfunktionen zusätzlichehilfreiche Informationen. Identifikationsparameter gebenbeispielsweise Auskunft darüber, um welche Art von Gerätes sich handelt oder wo Betriebsanleitungen, Datenblätterund andere Dokumente zu finden sind. Status- und Diagnoseinformationensowie Betriebsdaten erleichtern die Wartungund reduzieren Maschinenstillstände.www.schmersal.comLeistungsstarkeLogistiklösungenleicht gemacht.Erfahren Sie mehr über die neuestenLösungen für industrielle Bildverarbeitungund Barcode-Lesen in Halle 1 Stand J1111. - 13. März 2025Messe Stuttgart, Deutschland