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DER KONSTRUKTEUR 5-6/2021

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DER KONSTRUKTEUR 5-6/2021

SPECIAL SENSORTECHNIK

SPECIAL SENSORTECHNIK SPECIAL Autor: Dr.-Ing. Alexander Streicher, Produktmanager Sensorik, MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG, Ortenburg 40 DER KONSTRUKTEUR 2021/05-06 www.derkonstrukteur.de

SENSORTECHNIK WEISSES LICHT FÜR HÖCHSTE PRÄZISION Wenn hochgenaue Messergebnisse gefragt sind, sind optische Messverfahren unverzichtbar. Ein Sensorhersteller nutzt sowohl bei seinen konfokal-chromatischen Sensoren als auch bei seinen neuen Interferometern als Basis die Weißlicht-Technologie. Eingesetzt werden beide Messsysteme zur Abstands- und Dickenmessung in Bereichen, in denen höchste Genauigkeit und Signalstabilität gefordert werden. Licht wird in der Sensorik vielseitig genutzt. Rotes Laserlicht zählt hier zu den bekanntesten Lichtquellen. Der Sensorhersteller Micro-Epsilon setzt bei konfokal-chromatischen Sensoren wie auch bei den Interferometern auf die Weißlicht-Technologie, die das sichtbare weiße Licht sowie den Infrarotbereich umfasst. Bis in den Subnanometerbereich erfolgen stabile Abstands- und Dickenmessungen unter anderem auf Glas, Folien oder in der Halbleiterindustrie. Doch auch wenn beide Sensortypen mit der Weißlicht-Technologie arbeiten, so unterscheiden sich die beiden Messverfahren dennoch deutlich. Gleichzeitig ergänzen sie sich aber auch hervorragend und bilden ein leistungsstarkes Portfolio, das enorme Anwendungsvielfalt und Genauigkeit bietet. Konfokal-chromatische Sensoren liefern mikrometergenaue Ergebnisse, überwiegend bei der Automatisierungs- und Fertigungsüberwachung in dynamischen, industriellen Inlineanwendungen. Die Interferometer von Micro-Epsilon sind in der Regel in solchen Anwendungen im Einsatz, die Nanometerpräzision in Verbindung mit höchster Signalstabilität einfordern wie in der Halbleiterindustrie oder der Präzisionsglasproduktion. Im Vergleich lassen sich die konfokal-chromatischen Systeme durchaus als die flexiblere Lösung bezeichnen, jedenfalls was die Anzahl der verschiedenen Sensoren und somit die Anwendungsvielfalt betrifft. Sie können entweder die Dicke von transparenten Objekten oder Abstände auf zahlreichen Oberflächen messen. Gekrümmte und insbesondere strukturierte Oberflächen werden mit konfokal-chromatischen Sensoren zuverlässig erfasst, denn diese Sensoren der Reihe ConfocalDT bieten einen großen Verkippungswinkel bis zu 48°. Daher sind auch Rundungen und Profile mit dem konfokalen System zuverlässig messbar. Auch beim Grundabstand und den Messbereichen ist das konfokal-chromatische System sehr flexibel. Das Interferometer hingegen eignet sich mit einem Messwinkel von 2° bestens für ebene Oberflächen www.derkonstrukteur.de DER KONSTRUKTEUR 2021/05-06 41

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